Клапаны для сверхчистых сред HM

Клапаны с металлическими мембранами и рукоятками для ручного управления

Сверхчистые мембранные клапаны с ручным управлением предназначены для применения в системах низкого и высокого давления.

Характеристики:

• Клапаны серии HM спроектированы и изготовлены по спецификациям по материалам SEMI F-20.
• Клапаны имеют различные конфигурации портов и соединения под приварку «встык» либо с торцевыми уплотнениями.

Клапаны с металлическими мембранами и пневмоприводом

Сверхчистые мембранные клапаны с пневмоприводом предназначены для применения в системах низкого и высокого давления.

Характеристики:

• Клапаны серии HM изготавливаются соответствии со стандартом SEMI F-20.
• Их концевые соединения выполняются как под приварку «встык», так и с торцевыми уплотнениями.

Клапаны серии HMS для монтажа на плоскость

Конструкция корпуса клапанов сверхвысокого класса чистоты предполагает монтаж на плоскость. Монтаж осуществляется через C-образное уплотнение диаметром 1,125» по стандарту SEMI PR 3.1.

Клапаны серии HMS полностью выпускаются в исполнениях с ручным управлением и с пневмоприводами и соответствуют стандарту SEMI F-20.

Компактные клапаны серии HMSC для монтажа на плоскость

Конструкция корпуса клапанов сверхвысокого класса чистоты предполагает монтаж на плоскость. Монтаж осуществляется через C-образное уплотнение диаметром 1,125» по стандарту SEMI PR 3.1.

Клапаны данной серии имеют низкопрофилированные корпуса с рукояткой ISLT© с возможностью блокировки и маркировки.(патент No 165393).

Экономичные клапаны серии HMC сверхвысокой чистоты с металлической мембраной

Клапаны общего назначения

Характеристики:

• Компактное исполнение.
• Рукоятка с поворотом на ¾ оборота и индикатором положения (открыто/закрыто), 300 psi.
• Защелка для блокировки круглой рукоятки.
• Пневмопривод в нормально закрытом либо нормально открытом положении, 150 psi.
• Стандартная электрохимическая полировка поверхностей.
• Стандартное исполнение для крепления на панели.

Клапаны с пневмоприводом серии 2LN HYBRID

Возможность ручного отключения

Модели для монтажа на плоскость серии UCV соответствуют требованиям класса UHP и подсоединяются к системам через С-образные уплотнения SEMI PR3.1 диаметром 1,125″.

Благодаря компактной конструкции эти клапаны имеют коэффициент расхода Cv 0,3.

Экономичные мембранные клапаны серии HD

Мембранные клапаны серии HD с ручным управлением либо с пневмоприводами являются экономически эффективным решением для систем низкого давления до 300 psi (20 бар).

Эти уникальные мембранные клапаны были специально разработаны в соответствии с требованиями к диапазонам давления, обработке поверхностей и степени чистоты, действующими в производстве фотоэлектрических и светодиодных панелей, а также некоторых полупроводниковых систем.

Клапаны серии HD20 являются новейшим в ряду высококачественных и экономичных решений компании HAM-LET.

Мембранные клапаны высокого давления серии HP

Характеристики:

• Клапан с металлической мембраной прямого контакта с седлом с ручным управлением либо с пневмоприводом.
• Давление: от вакуума до 3060 psi (210 бар).
• Температура: От 14 до 104 °F / от -10 до 60 °C (седло из PCTFE).
• Концевое соединение: Поворотное соединение с внутренней резьбой и торцевым уплотнением, поворотное соединение с наружной резьбой и торцевым уплотнением, наружная резьба с торцевым уплотнением, соединение под приварку «встык», соединение Let-Lok.
• Коэффициент расхода, Cv: 0,27.